蘇州敏芯微電子成功研發(fā)面向 MEMS 微硅壓力傳感器制成的 SENSA 工藝。敏芯目前已經(jīng)將此工藝應(yīng)用于公司生產(chǎn)的微硅壓力傳感芯片 MSP 系列產(chǎn)品中。此項(xiàng)關(guān)鍵核心技術(shù)的突破，將為國內(nèi)以至全球的微硅壓力傳感器行業(yè)帶來深刻變革。傳感芯片的尺寸、精度、可靠性、可加工性以及成本，將由于SENSA工藝的引入而產(chǎn)生質(zhì)的飛躍。

蘇州敏芯微電子技術(shù)有限公司成立于2007年，是中國國內(nèi)最早成立的MEMS研發(fā)公司之一。由專業(yè)的風(fēng)險(xiǎn)投資公司投資，并完全商業(yè)化運(yùn)作。管理團(tuán)隊(duì)具有深厚的半導(dǎo)體及MEMS產(chǎn)業(yè)背景，核心技術(shù)團(tuán)隊(duì)有在國內(nèi)外頂尖大學(xué)微電子實(shí)驗(yàn)室從事MEMS與集成電路（IC）技術(shù)研究的寶貴經(jīng)驗(yàn)。已申請和在申請專利累計(jì)已達(dá)70多項(xiàng)，擁有數(shù)項(xiàng)涉及MEMS關(guān)鍵技術(shù)的突破性發(fā)明和世界級科研成果。