蘇州敏芯微電子成功研發(fā)面向 MEMS 微硅壓力傳感器制成的 SENSA 工藝。敏芯目前已經(jīng)將此工藝應用于公司生產(chǎn)的微硅壓力傳感芯片 MSP 系列產(chǎn)品中。此項關鍵核心技術的突破，將為國內(nèi)以至全球的微硅壓力傳感器行業(yè)帶來深刻變革。傳感芯片的尺寸、精度、可靠性、可加工性以及成本，將由于SENSA工藝的引入而產(chǎn)生質的飛躍。

蘇州敏芯微電子技術有限公司成立于2007年，是中國國內(nèi)最早成立的MEMS研發(fā)公司之一。由專業(yè)的風險投資公司投資，并完全商業(yè)化運作。管理團隊具有深厚的半導體及MEMS產(chǎn)業(yè)背景，核心技術團隊有在國內(nèi)外頂尖大學微電子實驗室從事MEMS與集成電路（IC）技術研究的寶貴經(jīng)驗。已申請和在申請專利累計已達70多項，擁有數(shù)項涉及MEMS關鍵技術的突破性發(fā)明和世界級科研成果。